型号：WYKO NT9100

生产厂家：美国Veeco Metrology Inc 公司

购置日期：2009年11月

存放地点：中铝科技大楼B109

技术指标:1．纵向扫描范围：0.1nm~1mm (标配）

2．纵向量程：150nm/1mm

3．横向取样间隔：80~13100nm

4．垂直纵向分辨率：0.1nm

5．光学横向分辨率：400~600nm

6．测量倍数：5×~100×
7．最大扫描速度：24um/s
8．样品台尺寸：100mm

主要功能：材料二维和三维表面微观形貌的测量，表面粗糙度、台阶高度和平面度的测量，测量表面薄膜，具有多点自动测量、数据缝合功能，可测量多种材料表面：不透明、透明、镀膜、非镀膜、反射、弱反射。

应用领域：材料科学与工程

联系人：陶轩

联系电话：0731-88877585     E-mail：taoxuancsu@163.com

详细地址：410083，中南大学机电工程学院

预约方式：1 样品个数    2 机时

检测项目：机加工粗糙度、表面微观形貌。